George Jones
Western Electric
222 Broadway
New York, NY 10038
Mikro-minyatürleştirme, katı hâl bileşenlerinin boyutunu küçültmeye devam ettikçe, bu kadar küçük aygıtları en yüksek kalitede üretme görevi giderek daha da büyümüştür.
Western Electric’in Allentown (Pa.) tesislerinde mühendislik bölümü başkanı olan Howard Tooker’a göre, “Beş yıldan kısa bir sürede, 1.000 bitten 64.000 bitin üzerine çıkarak dört nesil bellek yongasından geçtik.”
Yeni yüksek yoğunluklu 64K yarı iletken bellek yongası, gerçekte 65.536 bit içermektedir ve bunların her biri saniyenin milyonda birinden daha kısa sürede geri çağrılabilmektedir. Üretim ve güvenilirlik alanlarında tamamen yeni bir dizi kaygı ortaya çıkmıştır.
Üç yeni süreç kurulmuştur; şu anda metal oksit silikon (MOS) yonga üretim hattı, 50 ila 60 kontrol grafiği ile birlikte 150 işlem adımından oluşmaktadır.
İlk yeni süreç, iyon implantasyonu sistemidir: 4 inç çapında ve 130’dan fazla yonga içeren bir silikon plaka, başka bir elementten gelen atomlarla bombardımana tutulur. Bu atomlar yüzeye nüfuz ederek, entegre devrelerin temelini oluşturan farklı elektriksel konfigürasyonlar meydana getirir. Silikon plakalar, oksit ve metal katmanları sağlanacak şekilde işlenmiş ve belirli devreler için fotomaske ile aşındırılmıştır; böylece iyon implantasyonu dikkatle hedeflenebilmektedir.
İkinci yeni süreç, plakanın aşındırılmasında ıslak kimyasallar yerine bir plazma tekniğinin kullanılmasıdır. Bir gaz atmosferinde bir radyo frekansı deşarjı üretilir. Bu deşarj, ıslak kimyasalların gerektirdiğinden daha düşük sıcaklıklarda istenen kimyasal reaksiyonun gerçekleşmesini sağlayan bir katalizör görevi görür.
Üçüncü yeni süreç, sıra dışı bir lazer onarım sistemidir. Lazer ışını, çalışmayan bir bit yerine yedek bir bit koyarak bir elektrik devresini hassas biçimde değiştirebilir ve böylece bir yonganın hurdaya ayrılmasını önleyebilir. Bir test düzeneği yongayı otomatik olarak değerlendirir ve bazı bitler çalışmıyorsa, bunlar çıkarılabilir, boşluklar eklenebilir ve yedek bitler bağlanarak devrenin tamamen çalışır duruma gelmesi sağlanabilir. Bu onarım sistemi, lazerin bu şekilde uygulanabilecek düzeye kadar mükemmelleştirilmiş olması sayesinde mümkündür.